Depozice nanokrystalických diamantových vrstev

Ročník: 32 (2009/10)

Kategorie: 2: fyzika

3. místo

• Zapojit se do studia a zkoumání růstu (depozic) nanokrystalických diamantových (NCD) vrstev pomocí nového MW reaktoru • Seznámit veřejnost s využitím NCD vrstev • Seznámit veřejnost s novým MW reaktorem pro plazmochemické depozice z plynné fáze (CVD) • Seznámit veřejnost s depozicemi NCD vrstev, metodami na zkoumání průběhu (plazmatu) a výsledku (vrstev) • Porovnat výsledné vrstvy a jejich růst za různých podmínek • Výpočítat elektronovou teplotu plazmatu, v kterém depozice probíhala

Plný text práce